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合肥研究院承担的国家科技重大专项通过验收试验。

时间:2019-03-04 19:22:45 来源:新凤凰彩票网 作者:匿名



3月12日至14日,中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所承担的“双腔同步全固化激光电源和输出能量稳定系统”研究项目通过验收国家科技专业管理办公室。 。该主题成功地为MOPA结构的准分子激光器提供了低抖动,完全固化,高脉冲,快速放电的电源,并通过反馈控制系统实现了激光输出能量稳定。成功接受该主题为光刻机部件的本地化奠定了基础,并具有显着的直接经济和社会效益。

“双腔同步全固化激光电源和输出能量稳定系统的研究”是国家科技重大专项“超大规模集成电路制造设备和成套技术”的子课题之一。 (02重大专项)。整个固态脉冲激励技术,MOPA结构电源同步控制技术和能量稳定控制技术等的突破,是曝光光源的核心技术。掌握这些技术有利于中国光刻机的发展和相关半导体的收购。制造设备的自主知识产权。该研究小组参加了该项目光电子研究所组织的整机在线测试。它与并行项目合作进行了验证和连接。开发的电源系统与光源系统组件相结合,如激光放电腔,线宽缩小模块和光学器件。集成了20W4kHz ArF曝光光源系统,整机测试达到了技术指标。电力系统测试也达到了任务书的要求。

值得注意的是,光刻机是生产大规模集成电路的核心设备。制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数制造商掌握它。因此,光刻机很昂贵,通常在3,000到5000万美元之间(根据维基百科)。作为光刻机的核心部件,曝光光源在半导体设备的开发中起着重要作用。因此,接受这一主题具有直接的经济和社会效益。

与此同时,作为滚动支撑,02大型专项项目正式启动项目第二期“40W4kHz ArF曝光光源产品开发”,2013年1月,合肥安阳研究所继续承担第二期“高 - 频率脉冲泵电源研发。“摘录自:中国科学院

关键词:激光电源,反馈控制,精度,奥克官方网站

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